国产仪器锻造“芯”脉向上生长

2025-04-17 14:13 来源：聚光科技（杭州）股份有限公司

国产仪器锻造“芯”脉向上生长

某晶圆厂内，一台进口痕量气体分析仪因故障停机，供应商回复配件到货周期需三个月，整条产线被迫降速，产量受到严重影响。

随着中美加税持续升级，全球供应链波动不断，长期依赖进口仪器的局限性正在加速显现——价格高昂、周期冗长、售后滞后，已成为中国半导体制造链条上不能承受之重。

推进核心检测装备的国产替代，不再是技术理想，而是应对全球博弈下的现实必答题。

就在4月11日，中国物流与采购联合会公共采购分会发布倡议，号召锻造“自主链核”，优先采购国产设备，将产业链的“断点”转化为自主可控的“核心支点”（点击阅读原文）。

中国半导体行业协会同日发布《关于半导体产品“原产地”认证规则的紧急通知》，明确“晶圆流片地即原产地”的认定原则，强化制造主权，也直指科学仪器必须自主掌控的核心痛点（）。

政策引导与产业倒逼正加速共振。国产检测装备正在迎来关键窗口期，国产替代步入“从可用到主用”的深水区。

在变局中突围

自主可控步履坚定

变局当前，退无可退。倒逼突围，箭在弦上。

聚光科技，正是这场“从可用到主用”的国产攻坚战中的破局者。

聚光科技依托二十余年在光谱、色谱、质谱与自动化等领域的技术积淀，积极推出高度定制化、系统自动化的半导体行业专用创新产品与解决方案，在洁净室气态分子污染物监测、半导体制程金属污染检测、半导体电子特气泄漏检测等应用领域完成国产化布局，帮助客户提升生产效率和产品质量，同时为国产科学仪器在检测领域的创新发展注入强劲动力。

和时间赛跑

与极限精度较量

在电子级化学品和晶圆抛光片的生产车间，哪怕是万亿分之一浓度的金属杂质，都可能成为良率滑坡的罪魁祸首。

谱育科技自主研发的EXPEC 7350系列ICP-MS/MS，采用创新三重四极杆架构，稳定实现0.1ppt级别超高灵敏度，即便面对复杂基质，也能精准锁定痕量杂质。

EXPEC 7350系列ICP-MS/MS

经过数千小时连续测试，EXPEC 7350系列ICP-MS/MS在检出限、长期稳定性、氧化物产率等关键指标上，全面超越国际同类标准，真正实现了材料检测的自主可控。

硅烷、磷烷、三氟化氮……在芯片工厂，这些特气一旦泄漏，后果难以想象。

针对特气泄漏风险，谱育科技推出的GDM-2100 Series半导体气体探测器，集成智能传感器平台，能够精准侦测40余种半导体特气，为厂区安全运行构建起一道道坚实防线。在实际应用中，该系统已为某个12英寸晶圆项目提供全天候气体泄漏监测，有效提升了厂区的生产安全水平。

GDM-2100 Series半导体气体探测器

随着半导体工艺节点不断迈向5nm乃至3nm，微量气态污染也可能导致产品报废。半导体行业对检测设备的灵敏度、稳定性与响应速度提出了的高标准。污染早发现、早控制，成为产线安全运行的底层逻辑。

在半导体厂区，谱育科技AMC 1000微污染气体监测系统通过分布式多点采样，集成GC-MS、CRDS等先进技术，将厂区空气环境编织成一张无形的“感知之网”，实时锁定ppb级污染风险。采样管路覆盖范围可达200米，检出限低至0.1ppb，帮助客户第一时间预警微小污染源，防患于未然。

AMC 1000微污染气体监测系统

为了满足快速布控与局部排查需求，谱育科技还推出了移动推车式AMC监测系统，内置大容量电池与独立触控终端，脱离市电也能持续监测。

移动推车式AMC监测系统

在洁净室，一台痕量气体分析仪稳定运行，实时监测车间环境中的氯化氢浓度。屏幕上报警信息同步推送，为产线调整争取宝贵时间。

这台设备正是聚光科技旗下子品牌如仪推出的SCA系列高精度痕量气体分析仪。基于自主研发的CRDS技术，该设备可以在有限的光腔内实现长达20千米的有效测量光程，对HF、NH₃、HCl等有害气体进行ppb级别的实时监测，各项指标比肩进口设备。

如仪SCA系列高精度痕量气体分析仪

在过去，国内相关检测设备在灵敏度与稳定性方面始终受限，难以满足先进工艺对洁净环境的要求。聚光科技成功打破国外在CRDS技术领域的长期垄断，自主构建起完整技术体系，，助力半导体检测实现关键技术自主可控。

项目测试数据显示，如仪SCA系列高精度痕量气体分析仪的监测数据与某进口品牌设备一致性高达99.77%，气体切换响应时间10-20秒，成为产线上真正的“黄金救援助手”。

如仪SCA系列（HCI）比对测试数据

行业头部背书

国产替代加速落地

如今，聚光科技的检测装备已助力国内多家晶圆厂、半导体材料等企业稳步提升产线良率与本质安全水平，为“中国芯”保驾护航。

谱育科技EXPEC 7350系列已成功应用于多家大型半导体企业。某宽禁带半导体材料企业将该设备用于衬底抛光片、外延片及高纯试剂中的痕量金属检测。经过半年使用，设备表现稳定，客户对其性能及售后服务给予高度认可。

EXPEC 7350系列应用于某宽禁带半导体材料企业

在制程芯片制造企业和8+12英寸集成电路制造企业，EXPEC 7350S型ICP-MS有效覆盖G3~G5级化学品的质控要求，实现了G5级硝酸、氢氟酸、双氧水、IPA等试剂的过程品控。

在的12寸硅片制造企业和化合物半导体制造企业，谱育科技利用VPD与7350S组合方案，能够实现自动化监测晶圆表面金属离子沾污，满足8-12寸硅片制造企业和化合物半导体制造企业的品控要求。

在某12英寸集成电路生产线建设项目中，GDM-2100 Series半导体气体探测器为30余种有毒有害气体建立了实时在线监测体系，通过多层级报警联动机制，大幅提升了生产环境的本质安全水平。

GDM-2100 Series半导体气体探测器助力某12英寸集成电路生产线建设项目

晶圆厂采用AMC 1000微污染气体监测系统，实现洁净室酸、碱、VOC等多类污染物的ppb级连续监测。系统支持多点分布式采样与灵活移动部署，为生产优化与环境控制提供实时数据支撑。

晶圆厂采用AMC 1000微污染气体监测系统

某半导体厂在引入如仪SCA系列高精度痕量气体分析仪后，发现其检测精度与进口设备相当，响应速度快，运行稳定，随即加购一台。客户反馈：“性能对标进口，服务响应更快，国产仪器可以放心用。”

以科技自强

擎起中国“芯”力量

聚光科技，用科技创新擦亮了国产检测装备的底色，夯实了半导体制造的技术根基。

创新，从未止步；责任，始终在肩。

未来，聚光科技将继续锚定国家战略所需，聚焦产业发展所急，深耕科学仪器领域，助力中国半导体产业走得更稳、更远、更强。

以科技之光，照亮制造强国之路；以自主之力，支撑中国“芯”脉向上生长。

关键词：聚光

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