上海华爱色谱亮相2026电子气体及材料发展论坛

2026年9月14日至15日，由中国工业气体工业协会主办的“2026电子气体及材料发展论坛”在南京举行。论坛围绕电子气体及材料的技术发展与产业协同展开交流。上海华爱色谱分析技术有限公司受邀参会，公司代表方华作了题为《半导体用电子特气的持续质量控制》的专题分享。

聚焦半导体电子气体质量监控场景

在分享中，方华围绕半导体电子气体质量监控场景，分析了部分现场应用中可能面临的检测参数覆盖不足、数据分散、统计分析能力有待优化和自动化程度不一等挑战，并介绍了上海华爱色谱的 CQC（Continuous Quality Control System）持续质量控制系统方案。该方案可结合现场采样、分析、控制和数据管理需求，为电子气体质量监控提供系统化支持。

全链路技术展示，SPC 软件赋能质量控制

CQC 系统采用分层分布式架构，可集成现场取样管线、机柜内预处理模块、一体化分析机柜、自动化控制系统、SPC 软件和数据平台。系统的具体配置、检测项目和适用条件，可根据气体种类、现场工艺和用户需求确定。

此外，系统配套的 SPC 软件可提供实时监控看板，支持 Xbar-R、Xbar-S、I-MR、P、C 等控制图分析，并可基于经确认的基线数据、合理分组和配置的判异规则，支持建立、审核和维护控制限，对异常信号进行标注和预警。在过程稳定、规格限明确且评价条件适用时，平台可支持 Cp/Cpk 等过程能力分析。

平台可根据现场管理要求配置预警、一般、严重、紧急等告警等级，并支持告警推送、处置记录、复检和关闭验证的过程留痕。对于复杂异常，系统结合规则、历史数据和 AI 大模型辅助故障诊断能力，提供异常原因分析与处置建议；相关结论由质量和工艺人员结合现场情况进行复核确认。

方华表示，持续质量控制的价值在于将在线监控、统计分析、异常处置与记录追溯衔接起来，为质量管理人员提供可用的数据和工具支持。上海华爱色谱将继续围绕半导体电子气体质量控制需求开展技术研发与应用探索。