德国Diener 等离子蚀刻机Tetra 8 RIE

用途：



表面清洗活化

表面蚀刻




Tetra 8 RIE 产品特点：





适用于8”以下样品的处理

等离子蚀刻机，可实现快速且一致的样品表面刻蚀

全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布

电极水冷确保了样品的温度不会偏高

工业Windows控制系统，多段程序控制功能，实现一键蚀刻功能

适合于研究院、高校、研发中心等使用，也可小批量生产